產(chǎn)品簡介：
測量分析顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度測量儀器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng)，可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu)，是集光、機(jī)、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測量為主，也可作三維輔助測量，應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機(jī)玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1. X、Y、Z三軸0.5μm分辨力
2. 電動(dòng)Z軸分辨力0.1μm
3. 具有高度自動(dòng)測量
4. 內(nèi)建偏光測量光學(xué)模塊
5. 高速/無接觸測量
6. 同軸光/底光測量
7. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級(jí)厚度
測量分析顯微鏡技術(shù)規(guī)格參數(shù)：
型號(hào) | PZ-3020MA | ||||
工作臺(tái) | 金屬臺(tái)尺寸(mm) | 500 x 330 | |||
玻璃臺(tái)尺寸(mm) | 350 x 250 | ||||
X、Y軸運(yùn)動(dòng)行程(mm) | 300 x 200 | ||||
手動(dòng)Z軸行程(mm) | 120 | ||||
自動(dòng)Z軸行程(mm) | 2 | ||||
外形尺寸(mm) | 825 x 660 x 910 | ||||
儀器重量(kg) | 130 | ||||
X、Y、Z軸分辨力(μm) | 0.5 | ||||
自動(dòng)Z軸分辨力(μm) | 0.1 | ||||
示值誤差(μm) | E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L為測量長度，單位mm) | ||||
物鏡放大倍數(shù)誤差 | 包括畸變在內(nèi)的放大率誤差≦0.08% | ||||
落射照明光源 | 可調(diào)高亮度鹵素?zé)?/span> | ||||
底光照明光源 | 可調(diào)高亮度LED燈源 | ||||
目視系統(tǒng) | 影像系統(tǒng) | ||||
物鏡放大倍數(shù) | 5X、10X、20X、50X | 5X、10X、20X、50X；10X Mirau物鏡 | |||
目鏡放大倍數(shù) | 10X雙鏡筒 | 1/2”CCD攝像機(jī) | |||
視頻總倍率 | 50X ~500X | 142.5X ~1425X (19.5”顯示器，分辨率1440 x 900) | |||
單層透明膜厚度測量模組 | |||||
高精度測量模式 | 快速測量模式 | ||||
厚度測量范圍 | 100nm ~300nm | 300nm ~500nm | 500nm ~3μm | 3μm ~20μm | |
分辨力 | 5nm | 5nm | 7.5nm | 0.1μm | |
測量軟件介紹：
(1) 測量元素種類齊全：直接測量12種元素（點(diǎn)、直線、圓、圓弧、橢圓、矩形、槽形、○形環(huán)、距離、角度、開云線,閉云線）。測量閉合云線的周長，面積及重心，使用三次插值算法，為目前準(zhǔn)測量云線的方法。采樣點(diǎn)越多，越準(zhǔn)確。
(2) *尋邊算法：確保尋邊準(zhǔn)確無誤.亞像素尋邊，精度可達(dá)像素的1/10，專業(yè)的專家尋邊模式，或解決打了表面光之后，尋邊困難的問題，通過各種尋邊算法的設(shè)置，可解決各種各樣的尋邊難題，從而準(zhǔn)確的抓取邊界。有自動(dòng)去毛邊功能，對(duì)陰暗不明的邊界一樣可以準(zhǔn)確的找出.
(3) 宏測量功能：宏測量功能就是，將一些測量，構(gòu)造命令關(guān)聯(lián)到一個(gè)按鈕上。點(diǎn)擊按鈕，即開始執(zhí)行宏測量功能，宏測量功能會(huì)自動(dòng)完成構(gòu)造動(dòng)作，減少用戶操作鼠標(biāo)次數(shù)，提高工作效率。軟件提供了16組宏測量功能，用戶可以自己編輯宏測量功能按鈕的圖標(biāo)。
(4) 強(qiáng)大的構(gòu)造功能：軟件提供向?qū)У臉?gòu)造功能，這是軟件的一大特色?？蛻粝胍裁唇Y(jié)果,直接點(diǎn)擊相關(guān)按鈕，就可以自動(dòng)得到想要的結(jié)果.軟件提供了10種構(gòu)造法（【平移】、【旋轉(zhuǎn)】、【提取】、【組合】、【平行】、【垂直】、【鏡像】、【對(duì)稱】、【相交】、【相切】）
(5) 的小R角測量算法：對(duì)于大半徑,小弧長的R角，一直是測量界的測量難題，我公司經(jīng)過大量的實(shí)驗(yàn)及算法優(yōu)化，終于創(chuàng)造出一套行之有效的算法,很好的解決這一問題.通過測量弧及弧相鄰的兩條切線，可解決這一難題.經(jīng)實(shí)踐,重復(fù)性可達(dá)0.01之內(nèi).
(6) 自動(dòng)判別測量(自動(dòng)識(shí)別線，圓，弧)：只要將鼠標(biāo)放在工件的邊緣上，即可自動(dòng)尋邊得到線，圓或者弧.
(7) 顯示結(jié)果豐富：對(duì)各種元素的測量結(jié)果顯示﹐其信息量大﹐能滿足各種客戶的需要。并可設(shè)置哪些內(nèi)容顯示,哪些內(nèi)容不顯示﹐也可以單個(gè)元素進(jìn)行設(shè)置其顯示信息。也可對(duì)同類元素進(jìn)行設(shè)置.
(8) 超差紅色警示：如果測量結(jié)果超差，會(huì)指示是哪項(xiàng)內(nèi)容超差，并將該項(xiàng)顯示成紅色，對(duì)應(yīng)的圖形也會(huì)變成紅色.
(9) 能顯示光學(xué)放大倍率和屏幕放大倍率：下圖中顯示了光學(xué)放大倍率與屏幕放大倍率，屏幕放大倍率是由軟件自動(dòng)計(jì)算得到的，并能顯示一個(gè)像素相當(dāng)于多少mm。
(10) 能建立多重工件坐標(biāo)系：可根據(jù)圖紙建立多重工件座標(biāo)系。實(shí)現(xiàn)各坐標(biāo)系的座標(biāo)變換；能方便地實(shí)現(xiàn)直角坐標(biāo)系與極坐標(biāo)系之間的相互轉(zhuǎn)換；能實(shí)現(xiàn)各工件坐標(biāo)系的存儲(chǔ)和調(diào)用。建立座標(biāo)系后，如果選擇了十字線旋轉(zhuǎn)功能，十字線會(huì)作旋轉(zhuǎn)，指示座標(biāo)系的旋轉(zhuǎn)方向
(11) 建立用戶程序方便快捷：可以通過平移和旋轉(zhuǎn)建立的用戶程序。
(12) 編輯修改用戶程序,直觀方便：可以刪除，插入任一元素，包括座標(biāo)系?？梢圆榭茨硞€(gè)元素的尋邊狀況，及改變尋邊測量的環(huán)境。如果有必要，可以重新測量一個(gè)元素，以改變它的測量方法及環(huán)境。
(13) 機(jī)器自動(dòng)測量過程中可進(jìn)行手動(dòng)測量：如果客戶在測量某個(gè)，或某幾個(gè)元素時(shí)，希望手動(dòng)測量它，而不希望機(jī)器自動(dòng)去測，軟件可以輕松實(shí)現(xiàn)。軟件提供了斷點(diǎn)設(shè)置功能，可在要手動(dòng)測量的元素地方，設(shè)置斷點(diǎn)，則機(jī)器運(yùn)行到該處時(shí)，會(huì)自動(dòng)停下來。
010-87681080
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